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材料样品处理 小型溅射仪
小型溅射仪 KT-Z1650PVD真空溅射金属磁控镀膜机
KT-Z1650PVD真空溅射金属磁控镀膜机
 产品简介
产品简介
                  真空溅射金属磁控镀膜机膜厚监测镀膜机郑州科探KT-Z1650PVD,能够在非导电或导电不良的样品上涂布金(Au),钯(Pd),铂(Pt)和金/钯(Au / Pd)的薄膜。 在较短时间内即可形成具有细粒度的均匀薄膜,使样品适用于扫描电子显微镜(SEM)分析。仪器结构紧凑,全自动控制,设计符合人体工程学,所得结果一致,可重复性高。
| 品牌 | 郑科探 | 产地类别 | 国产 | 
|---|---|---|---|
| 应用领域 | 环保,能源,电子/电池,钢铁/金属,航空航天 | 
郑州hth电竞官网在线设备是高质量定制物理 气相沉积(PVD)系统的设计者和制造商,客户服务和售后服务出色。拥有7年以上真空和薄膜沉积技术经验。其研发团队在学界科学家和工程师的支持下,高度积极地开发新设计以满足客户的特殊要求。
郑科探的工程团队设计和制造的组件符合高质量标准。KT-Z1650PVD真空镀膜机已通过分销商销往许多大学和研究中心,并得到了很好的参考和反馈。
仪器描述:
真空溅射金属磁控镀膜机,能够在非导电或导电不良的样品上涂布金(Au),钯(Pd),铂(Pt)和金/钯(Au / Pd)的薄膜。 在较短时间内即可形成具有细粒度的均匀薄膜,使样品适用于扫描电子显微镜(SEM)分析。仪器结构紧凑,全自动控制,设计符合人体工程学,所得结果一致,可重复性高。
产品特点:
• 彩色触摸屏:数据输入简单快速。
• 通过触摸屏中直观检测数据和曲线;历史页面可显示历史涂层信息。
• 可控镀膜速率,可得到更精细的晶粒结构。
• 可手动或自动,根据时间或根据厚度进行溅射。
• 样品台更换简单:标准旋转样品台或选用行星式旋转样品台。标准样品台高度可调、可倾斜、可旋转;行星式旋转样品台为多孔样品带来好的喷金效果。

真空溅射金属磁控镀膜机技术参数:
| 控制方式 | 7寸人机界面 手动 自动模式切换控制 | 
| 溅射电源 | 直流溅射电源 | 
| 镀膜功能 | 0-999秒5段可变换功率及挡板位和样品速度程序 | 
| 功率 | ≤1000W | 
| 输出电压电流 | 电压≤1000V 电流≤1A | 
| 真空 | 机械泵 ≤5Pa(5分钟) 分子泵≤5*10^-3Pa | 
| 溅射真空 | ≤30Pa | 
| 挡板类型 | 电控 | 
| 真空腔室 | 石英+不锈钢腔体φ160mm x 170mm | 
| 样品台 | 可旋转φ62 (可安装φ50基底) | 
| 样品台转速 | 8转/分钟 | 
| 样品溅射源调节距离 | 40-105mm | 
| 真空测量 | 皮拉尼真空计(已安装 测量范围10E5Pa 1E-1Pa) | 
| 预留真空接口 | KF25抽气口 KF16放气口 6mm卡套进气口 |