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材料样品处理
小型蒸镀仪
高真空小型离子溅射仪
产品简介
                  高真空小型离子溅射仪KT-1650PVD是一款小型台式溅射功率可控HTH官方体育APP入口,仪器虽小功能齐全,配备有电压 电流反馈,样品台旋转,样品高度调节,及电动挡板功能。通过定时调节预溅射功率及薄膜沉积功率,可对大部分金属进行均匀物理沉积,真空腔室为透明石英玻璃减少样品污染,样品台可旋转以获得更均匀的薄膜,可制备各种金属薄膜。
| 品牌 | 郑科探 | 溅射气体 | 根据需求气体 | 
|---|---|---|---|
| 样品台尺寸 | φ50mm | 控制方式 | 触摸屏智能控制 | 
| 样品仓尺寸 | 50mm | 靶材尺寸 | 50mm | 
| 靶材材质 | 金 铂 铜 银 | 价格区间 | 面议 | 
| 产地类别 | 国产 | 应用领域 | 电子/电池 | 
高真空小型离子溅射仪KT-1650PVD是一款小型台式溅射功率可控HTH官方体育APP入口,仪器虽小功能齐全,配备有电压 电流反馈,样品台旋转,样品高度调节,及电动挡板功能。
高真空小型离子溅射仪 通过定时调节预溅射功率及薄膜沉积功率,可对大部分金属进行均匀物理沉积,真空腔室为透明石英玻璃减少样品污染,样品台可旋转以获得更均匀的薄膜,可制备各种金属薄膜。




控制方式  | 7寸人机界面 手动 自动模式切换控制  | 
溅射电源  | 直流溅射电源  | 
镀膜功能  | 0-999秒5段可变换功率及挡板位和样品速度程序  | 
功率  | ≤1000W  | 
输出电压电流  | 电压≤1000V 电流≤1A  | 
真空  | 机械泵 ≤5Pa(5分钟) 分子泵≤5*10^-3Pa  | 
溅射真空  | ≤30Pa  | 
挡板类型  | 电控  | 
真空腔室  | 石英+不锈钢腔体φ160mm x 170mm  | 
样品台  | 可旋转φ62 (可安装φ50基底)  | 
样品台转速  | 8转/分钟  | 
样品溅射源调节距离  | 40-105mm  | 
真空测量  | 皮拉尼真空计(已安装 测量范围10E5Pa 1E-1Pa)  | 
预留真空接口  | KF25抽气口 KF16放气口 6mm卡套进气口  | 
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