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华体汇app官方版下载 材料样品处理
材料样品处理 等离子清洗机
等离子清洗机 KT-S2DQXplasma离子清洗机射频电源
KT-S2DQXplasma离子清洗机射频电源
 产品简介
产品简介
                  plasma离子清洗机射频电源,不同气体的等离子体具有不同的化学性能,如氧气的等离子体具有很高的氧化性,能氧化光刻胶反应生成气体,从而达到清洗的效果。
| 品牌 | 郑科探 | 产地类别 | 国产 | 
|---|---|---|---|
| 应用领域 | 综合 | 
plasma离子清洗机射频电源,
等离子体清洗的机理,主要是依靠等离子体中活性粒子的"活化作用"达到去除物体表面污渍的目的。等离子体清洗通常包括以下过程:无机气体被激发为等离子态;气相物质被吸附在固体表面;被吸附基团与固体表面分子反应生成产物分子;产物分子解析形成气相;反应残余物脱离表面。等离子体清洗技术的最大特点是不分处理对象的基材类型,均可进行处理,对金属、半导体、氧化物和大多数高分子材料,可实现整体和局部以及复杂结构的清洗。

plasma离子清洗机射频电源
| 供电电源 | AC220V(AC110V可选) | 
| 工作电流 | 整机工作电流不大于3.5A(不含真空泵) | 
| 射频电源功率 | 150W | 
| 射频频率 | 13.56MHz | 
| 频率偏移量 | <0.2MHz | 
| 特性阻抗 | 50欧姆,手动匹配 | 
| 耦合方式 | 电容耦合 | 
| 真空度 | ≤50Pa | 
| 腔体材质 | 高纯石英 | 
| 腔体容积 | 2L(内径110MMX深度220MM) | 
| 观察窗内径 | Φ50 | 
| 气体流量 | 0—50ml/min(其他量程可选) | 
| 过程控制 | 过程手动控制 | 
| 清洗时间 | 手动开关 | 
| 开盖方式 | 铰链侧开式法兰 | 
| 外形尺寸 | 450x450x360mm | 
| 重量 | 23Kg | 
| 真空室温度 | 小于65°C | 
| 冷却方式 | 强制风冷 | 
| 标配 | KF16真空管1米,kf16卡箍2个,不锈钢网匣1个,电源线一根,说明书一本。 |