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华体汇app官方版下载 材料样品处理
材料样品处理 小型蒸镀仪
小型蒸镀仪 KT-Z1650CVD桌面高温蒸镀仪
KT-Z1650CVD桌面高温蒸镀仪
 产品简介
产品简介
                  桌面高温蒸镀仪,通过加热蒸发某种物质使其沉积在固体表面,称为热蒸发镀膜,热蒸发镀膜技术是历史最悠久的PVD镀膜技术之一
| 品牌 | 郑科探 | 产地类别 | 国产 | 
|---|---|---|---|
| 应用领域 | 综合 | 
桌面高温蒸镀仪,
分别用钨坩埚和玻璃碳涂层坩埚蒸镀金膜,采用EDS分析金膜表面黑色颗粒的主要成分.对比金膜表面黑色颗粒分布的密度;根据两种坩埚蒸金膜时的物理学特征不同,研究黑色颗粒产生的机理,解释碳玻璃涂层坩埚蒸金黑色颗粒较多的原因;并利用玻璃碳坩埚采取不同的工艺条件进行对比试验,成功减少了金膜表面的黑色颗粒,为教学实验、真空镀膜工艺和集成电路生产领域蒸镀高质量的金膜提供帮助.
 原样品没有镀膜
   原样品没有镀膜                        115A 100秒 机械泵
  115A 100秒 机械泵
 115A 100秒 分子泵抽12分钟
115A 100秒 分子泵抽12分钟     115A 120秒 分子泵抽20分钟
  115A 120秒 分子泵抽20分钟
真空度越高 越不易氧化 越接近金属本色
桌面高温蒸镀仪KT-Z1650CVD
| 控制方式 | 7寸人机界面 手动 自动模式切换控制 | 
| 加热方式 | 数字式功率调整器 | 
| 镀膜功能 | 0-999秒5段可变换功率及挡板位和样品速度程序 | 
| 最大功率 | ≤1200W | 
| 最大输出电压电流 | 电压≤12V 电流≤120A | 
| 真空度 | 机械泵 ≤5Pa(5分钟) 分子泵≤10^-3Pa | 
| 挡板类型 | 电控 | 
| 真空腔室 | 石英+不锈钢腔体φ160mm x 160mm | 
| 样品台 | 可旋转φ62 (最大可安装φ50基底) | 
| 样品台转速 | 8转/分钟 | 
| 样品蒸发源调节距离 | 70-140mm | 
| 蒸发温度调节 | ≤1800℃ | 
| 支持蒸发坩埚类型 | 钨丝蓝 带坩埚钨丝蓝 钨舟 碳绳 | 
| 预留真空接口 | KF25抽气口 KF16真空计接口 KF16放气口 6mm卡套进气口 | 
| 可选配扩展 | 机械真空泵(可抽真空 5分钟<5Pa) 数显真空计(测量范围大气压到0.1Pa) 分子泵机组(可抽真空20分钟≤5x10-3Pa) |