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材料样品处理
小型溅射仪
KT-1650PVD小型离子溅射仪喷金厚度
产品简介
                  小型离子溅射仪喷金厚度KT-Z1650CVD是一款小型台式蒸发功率可控蒸发镀膜仪,仪器虽小功能齐全,配备有电压 电流反馈,样品台旋转,样品高度调节,及电动挡板功能。通过定时调节预热功率及蒸发功率,可对大部分金属进行均匀蒸发沉积,真空腔室为透明石英玻璃减少样品污染,样品台可旋转以获得更均匀的薄膜,可制备各种金属薄膜和有机物薄膜。
| 品牌 | 郑科探 | 价格区间 | 面议 | 
|---|---|---|---|
| 产地类别 | 国产 | 应用领域 | 电子/电池 | 
| 真空 | 机械泵?≤5Pa(5分钟)?分子泵≤5*10^-3Pa | 
小型离子溅射仪喷金厚度KT-Z1650CVD是一款小型台式蒸发功率可控蒸发镀膜仪,仪器虽小功能齐全,配备有电压 电流反馈,样品台旋转,样品高度调节,及电动挡板功能。
小型离子溅射仪喷金厚度通过定时调节预热功率及蒸发功率,可对大部分金属进行均匀蒸发沉积,真空腔室为透明石英玻璃减少样品污染,样品台可旋转以获得更均匀的薄膜,可制备各种金属薄膜和有机物薄膜。


技术参数
设备名称  | 小型溅射仪  | 小型蒸镀仪  | 
控制方式  | 7寸人机界面 手动 自动模式切换控制  | 7寸人机界面 手动 自动模式切换控制  | 
工作电源  | 直流溅射电源  | 直流热蒸发电源  | 
镀膜功能  | 0-999秒5段可变换功率及挡板位和样品速度程序  | 0-999秒5段可变换功率及挡板位和样品速度程序  | 
功率  | ≤1000W  | ≤1500W  | 
输出电压电流  | 电压≤1000V 电流≤1A  | 电压≤12V 电流≤100A  | 
真空  | 机械泵 ≤5Pa(5分钟) 分子泵≤5*10^-3Pa  | |
腔体真空  | ≤30Pa  | |
挡板类型  | 电控  | |
真空腔室  | 石英+不锈钢腔体φ160mm x 170mm  | 石英腔体φ160mm x 160mm  | 
样品台  | 可旋转φ62 (可安装φ50基底)  | |
样品台转速  | 8转/分钟  | |
样品溅射源调节距离  | 40-105mm  | 70-140mm  | 
蒸发坩埚容积  | 3ML  | |
蒸发温度调节  | ≤1600℃  | |
真空测量  | 皮拉尼真空计(已安装 测量范围10E5Pa 1E-1Pa)  | |
预留真空接口  | KF25抽气口 KF16放气口 6mm卡套进气口  | |
可选配扩展  | 1 膜厚在线测试 2 分子泵  | |
公司简介:
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